半導体製造工程におけるウェーハ外観装置は、サブミクロン級のキズ・異物・パターン異常の検出が求められます。日比山は、高均一リング光源・同軸光源・ライン光源を組み合わせた最適な照明構成を提案します。
主な適用シーン
- ウェーハ表面のキズ・異物検出
- エッジ・ノッチ部の外観検査
- パターン欠陥・レジスト異常の検出
推奨製品
高均一リング光源 HIB-RS シリーズ、同軸光源、デジタルコントローラ HIB-MDPS シリーズ
半導体・ウェーハ外観装置
サブミクロン単位の精度が求められるウェーハ表面のキズ、異物、パターン不備を確実にとらえる専用光源と光学システム。
